## 纳米定位系统特性总结 表征纳米定位系统需要理解频域(使用FFT分析识别共振)和时域行为。虽然频率分析可以揭示共振频率,但缺乏时间和位置的相关性,并且依赖于外部测量,例如激光振动测量,才能获得准确的结果。 与阶跃系统不同,闭环压电定位器由于其模拟特性,理论上具有无限分辨率。然而,实际分辨率受微摩擦和电子噪声的限制,通常约为测量到的峰峰值噪声的1/6(1σ)。 重要的是,分析定位器实现的*离散步进*——即使在纳米级尺度下——也能提供有关系统稳定性、可重复性和整体性能的宝贵见解,直接反映系统在实际应用中的功能,例如成像和对准。这些图形数据补充了统计噪声测量,从而实现全面的系统评估。